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氦檢漏測試

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因氦氣的分子非常小,可偵測出非常小之漏點,如果說保壓測試是測大漏,氦測漏則是測小漏,在莊達人所著的VLSI制造技術一書中提到(氣體管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送氣)如此才不會造成危險。

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